画像処理装置

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半導体･フラットパネル用･貼合せ位置決め･
フイルム･基板マーク認識･高速位置決め･外観検査

カラー画像処理装置

3軸･4軸･6軸･アライメント･標準･高解像度･カラー／モノクロカメラ対応／倍率自動切換アライメント機能	応用例については各種機能の詳細
	具体例については動体監視

カラーカメラより画像を取り込み、カラー画像表示します。
カラー解析を行う為の各種カラーマークに対して対応が可能です。
ビューファインダーからG10サイズ以上可能
カメラ位置ティーチング機能

特許申請中

			●画像表示／カラー＆モノクロ ●高速･高精度･位置決 ●1μｍ以下のAuto　アライメント　 3pin･6pin･Table　X･Y1･Y2 　 Camera8台　X･Y･Z　Teaching位置自動制御　小基板～大基板（G10以上）まで対応可能 ●貼り合せ位置決め　液晶　薄型TV用基板･フィルム　半導体基板　各種画像位置決め ●その他機能　基板割れ検知　べリコード･バーコード読取　ウエハー外観検査　文字認識　５００万画素高解像度カラーカメラ対応 ●倍率自動切替アライメント機能　 1Camera･2Camera･3Camera･4Camera･位置決

●貼り合せ位置決め
二枚のガラス基板マークに対してアライメントを行い、
最適な貼り合せ位置を実現することが出来ます。

1）標準機能

1	操作ペンダントにより基板XYθのジョグ動作可能
2	入力信号表示機能（操作スイッチ、シーケンサー信号、モーター用センサー）
3	機種登録250種（マーク、サイズ、マーク位置の異なるもの）
4	カメラ毎にマーク登録可能
5	機種毎に基板、カメラの第2原点位置設定可能
6	カーソル移動によるアライメント基準位置の任意登録
7	光学系、機械系の誤差自動補正機能（項目｢条件計測｣）
8	アライメント回数設定
9	アライメントOK範囲設定
10	相関値下限設定
11	位置決前シフト
12	位置決後シフト
13	搬出シフト
14	ソフトリミット設定（モーター誤動作の防止）
15	操作モードの切替（操作パラメータの誤設定防止）

2）オプション機能

仕様

1）制御軸数とカメラ台数

番号	型　式	軸　数	カメラ台数	備　　　考
1	NIS003	3	-	テーブル3軸　　カメラ手動操作
2	NIS004	4	-	大型4軸　　　　カメラ手動操作
3	NIS006	6	-	テーブル6軸　　カメラ手動操作
4	NIS009	9	2	テーブル3軸　　カメラZ軸あり
5	NIS010	10	2	テーブル6軸　　カメラZ軸なし
6	NIS012	12	2	テーブル6軸　　カメラZ軸あり
7	NIS014	14	4	テーブル6軸　　カメラZ軸なし
8	NIS015	15	4	テーブル3軸　　カメラZ軸あり
9	NIS016	16	4	大型4軸　　　　カメラZ軸あり
10	NIS018	18	4	テーブル6軸　　カメラZ軸あり
11	NIS022	22	6	大型4軸　　　　カメラZ軸あり
12	NIS024	24	6	テーブル6軸　　カメラZ軸あり
テーブルモーターはパルスモータ（但し、４軸のテーブルモータはサーボモータ）

標準本体外形寸法

Ｗ330×Ｄ530×Ｈ900