従来の機能に加え、更に機能を強化
 |
特徴 |
●高速位置決め
小基板〜大基板まで対応可能
オートアライメント3pin・6pin・テーブルX・Y1・Y2対応
●カメラ8台Ｘ・Ｙ・Ｚテーチング位置自動制御 |
1）標準機能
| 1 |
操作ペンダントにより基板XYθのジョグ動作可能 |
| 2 |
入力信号表示機能（操作スイッチ、シーケンサー信号、モーター用センサー） |
| 3 |
機種登録200種（マーク、サイズ、マーク位置の異なるもの） |
| 4 |
カメラ毎にマーク登録可能 |
| 5 |
機種毎に基板、カメラの第2原点位置設定可能 |
| 6 |
カーソル移動によるアライメント基準位置の任意登録 |
| 7 |
光学系、機械系の誤差自動補正機能（項目｢条件計測｣） |
| 8 |
アライメント回数設定 |
| 9 |
アライメントOK範囲設定 |
| 10 |
相関値下限設定 |
| 11 |
位置決前シフト |
| 12 |
位置決後シフト |
| 13 |
搬出シフト |
| 14 |
ソフトリミット設定（モーター誤動作の防止） |
| 15 |
操作モードの切替（操作パラメータの誤設定防止 |
2）オプション機能
| 1 |
数値設定によりアライメント基準位置の移動 |
| 2 |
アライメントカメラ選択機能（カメラ1／2及びカメラ3／4） |
| 3 |
カメラ3･4シフト（基板マーク位置の異なる基板に対応） |
| 4 |
バックアップデータの保存（コンパクトフラッシュ） |
| 5 |
印刷後、マーク画面静止表示機能 |
| 6 |
2分割表示、カメラ1,2/カメラ3,4切替機能 |
| 7 |
機種毎に基板、カメラの第3原点位置設定可能 |
仕様
| 番号 |
型 式 |
軸 数 |
カメラ台数 |
備 考 |
| 1 |
NIS003 |
3 |
- |
テーブル3軸 カメラ手動操作 |
| 2 |
NIS006 |
6 |
- |
テーブル6軸 カメラ手動操作 |
| 3 |
NIS009 |
9 |
2 |
テーブル3軸 カメラZ軸あり |
| 4 |
NIS010 |
10 |
2 |
テーブル6軸 カメラZ軸なし |
| 5 |
NIS012 |
12 |
2 |
テーブル6軸 カメラZ軸あり |
| 6 |
NIS014 |
14 |
4 |
テーブル6軸 カメラZ軸なし |
| 7 |
NIS015 |
15 |
4 |
テーブル3軸 カメラZ軸あり |
| 8 |
NIS018 |
18 |
4 |
テーブル6軸 カメラZ軸あり |
| 9 |
NIS024 |
24 |
6 |
テーブル6軸 カメラZ軸あり |
| テーブルモーターはパルスモータ |
| 2） |
画像分解能 |
640×480×8bit |
| 3） |
ビデオ入力
出力 |
EIA RS-170
EIA RS-170 |
| 4） |
照明 |
同軸落射／透過照明切替 |
| 5） |
モニター |
1台（搭載カメラ数により2／4／8分割表示） |
| 6） |
機種 |
256種 |
| 7） |
位置決精度 |
1／5画素 |
| 8） |
位置決速度 |
0.5Sec（平均） |
| 9） |
電源 |
AC100Ｖ 15Ａ
仕様によりAC200V 15A（平均値）もあります。 |
| 10） |
周波数 |
50／60Ｈｚ |
標準本体外形寸法
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